什么是衍射光學(xué)元件？
瀏覽次數(shù)：766 發(fā)布于：2023-04-16
在許多平板顯示工藝中，有源屏幕層通常非常薄，使得加工極具挑戰(zhàn)性。為了解決這個(gè)問(wèn)題，屏幕層通常用一種特殊的粘合劑粘合到載體晶片上，以便于進(jìn)行加工。在經(jīng)過(guò)粘合和處理之后，必須通過(guò)化學(xué)/機(jī)械工藝或者越來(lái)越普遍的激光剝離技術(shù)將有源層從載體晶片上剝離。
與其他方法相比，激光紫外剝離更加清潔、更經(jīng)濟(jì)、更環(huán)保，正迅速成為平板顯示器生產(chǎn)中優(yōu)先的剝離方法。通常，在不損壞屏幕層的情況下，在晶片上掃描出一條細(xì)長(zhǎng)的紫外激光能量線，以實(shí)現(xiàn)高速率和良好的剝離均勻性。這條線的厚度為20-50 μm，長(zhǎng)度為100 mm以上，需要使用大型圓柱形光學(xué)元件，因?yàn)檫@種光學(xué)元件難以生產(chǎn)、安裝和對(duì)齊。
通過(guò)使用單個(gè)定制衍射光學(xué)元件深圳市華聯(lián)歐國(guó)際貿(mào)易有限公司是歐美工業(yè)備品備件一站式服務(wù)商，貨源充足，型號(hào)齊全，質(zhì)量可靠，售后服務(wù)佳。專業(yè)原裝行貨，正品保證，歡迎來(lái)電咨詢!所有產(chǎn)品售后有質(zhì)保，并且有終身免費(fèi)技術(shù)指導(dǎo)。我們有專業(yè)的客服團(tuán)隊(duì)，24小時(shí)進(jìn)行服務(wù)。下面是深圳華聯(lián)歐小編精心為大家推薦的產(chǎn)品科普一下什么是衍射光學(xué)元件？，如果您喜歡可以繼續(xù)閱讀詳細(xì)瀏覽一下去看看了解一下吧，關(guān)注收藏我們網(wǎng)址，每天為大家推送更多的干貨!
在許多平板顯示工藝中，有源屏幕層通常非常薄，使得加工極具挑戰(zhàn)性。為了解決這個(gè)問(wèn)題，屏幕層通常用一種特殊的粘合劑粘合到載體晶片上，以便于進(jìn)行加工。在經(jīng)過(guò)粘合和處理之后，必須通過(guò)化學(xué)/機(jī)械工藝或者越來(lái)越普遍的激光剝離技術(shù)將有源層從載體晶片上剝離。
與其他方法相比，激光紫外剝離更加清潔、更經(jīng)濟(jì)、更環(huán)保，正迅速成為平板顯示器生產(chǎn)中優(yōu)先的剝離方法。通常，在不損壞屏幕層的情況下，在晶片上掃描出一條細(xì)長(zhǎng)的紫外激光能量線，以實(shí)現(xiàn)高速率和良好的剝離均勻性。這條線的厚度為20-50 μm，長(zhǎng)度為100 mm以上，需要使用大型圓柱形光學(xué)元件，因?yàn)檫@種光學(xué)元件難以生產(chǎn)、安裝和對(duì)齊。
通過(guò)使用單個(gè)定制衍射光學(xué)元件（DOE）的替代方法可以與單模紫外激光器和標(biāo)準(zhǔn)F-theta掃描透鏡結(jié)合使用，以在長(zhǎng)達(dá)100 mm的線上生成統(tǒng)一的集成強(qiáng)度掃描線。在我們深入研究這一點(diǎn)之前，先講一些衍射光學(xué)元件的基礎(chǔ)知識(shí)以及它們是如何產(chǎn)生的。
衍射光學(xué)元件是一種透射式相位掩模，它可以對(duì)通過(guò)它的激光的波前施加任意相位。這一相位改變了激光遠(yuǎn)場(chǎng)的光束強(qiáng)度，使衍射光學(xué)元件（通常稱為衍射透鏡）能夠?qū)馐M(jìn)行整形或分束。定制的衍射光學(xué)元件可以設(shè)計(jì)成在系統(tǒng)的焦點(diǎn)（即遠(yuǎn)場(chǎng)）處提供任何期望的強(qiáng)度分布，例如，包括分束和平頂線成形功能的組合。
衍射光學(xué)元件的市場(chǎng)非常多樣化，因?yàn)樗鼈冇糜谠S多激光應(yīng)用，例如材料加工、美容醫(yī)學(xué)、計(jì)量學(xué)、AR/VR等。
衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)采用先進(jìn)的計(jì)算機(jī)輔助方法，例如迭代傅里葉變換法，優(yōu)化定制衍射光學(xué)元件的相位，從而產(chǎn)生所需的強(qiáng)度分布。在相位設(shè)計(jì)之后，通過(guò)半導(dǎo)體方法生產(chǎn)定制的衍射光學(xué)元件，其中相位輪廓被光刻寫(xiě)入和蝕刻。
生產(chǎn)完成后，必須對(duì)工業(yè)和商業(yè)應(yīng)用的衍射光學(xué)元件進(jìn)行單獨(dú)測(cè)試，以驗(yàn)證其性能。因?yàn)樗鼈兺ǔＳ糜诟邇r(jià)值、高功率的激光系統(tǒng)，其中不合格的元件可能會(huì)損壞其他系統(tǒng)的組件。該測(cè)試通過(guò)光學(xué)和地形構(gòu)造兩種方式進(jìn)行（以驗(yàn)證產(chǎn)生的相位是否符合計(jì)劃）。
定制衍射光學(xué)元件作為配置柱形光學(xué)元件的剝離直線發(fā)生器
通過(guò)使用定制的衍射光學(xué)元件和F-theta聚焦透鏡，可以產(chǎn)生高度均勻的平頂紫外線。但是，制造公差限制了衍射光學(xué)元件光束整形器的角度，因此對(duì)于所有市售的掃描透鏡，這樣的線不超過(guò)20 mm長(zhǎng)?？朔@一限制的有效方法是添加另一個(gè)衍射光學(xué)元件，衍射分束器，以微小的角度旋轉(zhuǎn)，使得分割線以類似階梯的方式排列，通過(guò)旋轉(zhuǎn)角度控制重疊。
通過(guò)調(diào)整定制衍射光學(xué)元件的旋轉(zhuǎn)，可以精確地控制拼接，從而在F-theta的整個(gè)視場(chǎng)上產(chǎn)生均勻的掃描線，即大于100 mm的范圍。
帶有單個(gè)定制 DOE 和 F-theta 透鏡的激光剝離線的階梯式概念
一旦找到正確的角度，這兩種衍射光學(xué)元件就可以在設(shè)計(jì)中組合成一個(gè)單獨(dú)的定制衍射光學(xué)元件，從而產(chǎn)生線形階梯。因此，可以通過(guò)使用單模UV激光器、單個(gè)衍射光學(xué)元件和F-theta透鏡來(lái)生成100 mm的高均勻度線，而無(wú)需大型高質(zhì)量的圓柱形光學(xué)元件和變形系統(tǒng)。
答：激光剝離是一種工藝，通過(guò)向載體晶片施加高激光強(qiáng)度的激光紫外線，將薄層從載體晶片上分離出來(lái)，通常形狀為長(zhǎng)度達(dá)到100 mm或以上，厚度為（< 50 μm）的更長(zhǎng)的細(xì)線，需要大型柱面透鏡。
問(wèn)：衍射光學(xué)元件如何幫助激光剝離？
答：通過(guò)使用具有線光束成形器和多點(diǎn)衍射分束器的單模紫外激光器，并使用標(biāo)準(zhǔn)F-theta透鏡聚焦所得光束，可能產(chǎn)生超過(guò)100 mm長(zhǎng)度和衍射受限厚度的拼接線，而無(wú)需任何柱面光學(xué)元件。一旦找到實(shí)現(xiàn)拼接的正確旋轉(zhuǎn)，這兩個(gè)衍射光學(xué)元件就可以組合成一個(gè)單一的定制衍射光學(xué)元件。
問(wèn)：衍射光學(xué)元件是如何工作的？
答：激光剝離衍射光學(xué)元件是一種透明窗口片狀的光學(xué)元件，通過(guò)在不同區(qū)域產(chǎn)生可變延遲來(lái)控制激光束的相位。這是通過(guò)在衍射光學(xué)元件表面的不同點(diǎn)將玻璃蝕刻到不同的高度來(lái)實(shí)現(xiàn)的。
問(wèn)：如何設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和測(cè)試DOE？
答：每個(gè)定制衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)都是使用基于計(jì)算機(jī)的工具完成的，這些工具定義了較佳相位輪廓，并考慮了生產(chǎn)公差。然后使用半導(dǎo)體方法產(chǎn)生相位，并且使用自動(dòng)光學(xué)設(shè)置以及拓?fù)錅y(cè)量來(lái)測(cè)試該元件。
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