技術(shù)文章
您現(xiàn)在的位置：首頁 > 新聞資訊 > 技術(shù)文章 > ANNEALSYS快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MC
ANNEALSYS快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MC
瀏覽次數(shù)：960 發(fā)布于：2023-04-16
帶燈加熱的直接液體噴射汽化器使 MC-050成為一種獨(dú)特的機(jī)器，具有像集群工具一樣的多工藝能力，但在一個(gè)單一的工藝室內(nèi)。
Annealsys MC-050系統(tǒng)是為滿足研發(fā)單位的要求而開發(fā)的2英寸DLI-CVD/DLI-ALD反應(yīng)器。
紅外燈爐與直接液體注入蒸發(fā)器相結(jié)合，在同一工藝室內(nèi)提供獨(dú)特的多工藝深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司工業(yè)自動化品牌產(chǎn)品種類眾多，我們可提供從獨(dú)立元件到全面集成的定制系統(tǒng)解決方案及工業(yè)備品備件選型服務(wù)，每種解決方案都可以為客戶帶來高效的靈活性和附加值。我們是工業(yè)自動化的全球合作伙伴;我們的目標(biāo)是可持續(xù)發(fā)展。我們的專業(yè)是自動化;我們的使命是創(chuàng)新。我們的激情來自合作伙伴關(guān)系!誠信為首、正品采購、價(jià)格優(yōu)惠、品質(zhì)保障、體貼的服務(wù)為您提供安全、可靠、完善的售前、售后服務(wù)，不斷追求更加卓越的企業(yè)品質(zhì)，向?qū)I(yè)多元化的產(chǎn)品模式穩(wěn)步前進(jìn)。下文華聯(lián)歐小編將為您詳細(xì)講解有關(guān)《優(yōu)勢供應(yīng)ANNEALSYS快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MC》等內(nèi)容，歡迎您繼續(xù)閱讀，祝您生活愉快，謝謝~
帶燈加熱的直接液體噴射汽化器使 MC-050成為一種獨(dú)特的機(jī)器，具有像集群工具一樣的多工藝能力，但在一個(gè)單一的工藝室內(nèi)。
Annealsys MC-050系統(tǒng)是為滿足研發(fā)單位的要求而開發(fā)的2英寸DLI-CVD/DLI-ALD反應(yīng)器。
紅外燈爐與直接液體注入蒸發(fā)器相結(jié)合，在同一工藝室內(nèi)提供獨(dú)特的多工藝能力：CVD、ALD、MOCVD、RTP 和 RTCVD。
直接液體注入 (DLI) 蒸發(fā)器可控制前體流量，并允許使用低蒸氣壓和稀釋的化學(xué)前體。與旁通閥相關(guān)的前體蒸汽流的快速切換為納米層壓板的沉積提供了界面控制。
MC-050是使用廣泛的固體和液體有機(jī)金屬前體開發(fā)新材料和納米層壓材料的機(jī)器。
性能特點(diǎn)
MC-050 可以使用廣泛的有機(jī)金屬前體進(jìn)行化學(xué)氣相沉積和原子層沉積工藝，同時(shí)提供原位退火功能。
- 氣體混合能力與質(zhì)量流量控制器
- 6個(gè)汽化器
- 手套箱裝載選項(xiàng)
- 可選擇高真空能力
可選功能與配件
MC-050可配備6個(gè)直接液體注入蒸發(fā)器和兩個(gè)用于高蒸氣壓前體的起泡器。
- 高溫計(jì)溫度控制
- 粗真空泵、渦輪泵
- 手套箱接口和手套箱
- 遠(yuǎn)程等離子
- 臭氧發(fā)生器
技術(shù)參數(shù)
- 基板尺寸：直徑可達(dá)2英寸
- 溫度范圍：室溫至 1100°C
- 電壓：3x400V+N+Gr/3x220V+Gr
- 功率：21千瓦
- 水：2至4巴，壓降1巴，8升/分鐘
- 壓縮空氣：6巴（閥門驅(qū)動）
- 真空范圍：大氣壓至 10-3 Torr
- 產(chǎn)地：法國
產(chǎn)品應(yīng)用
MC-050提供了廣泛的新材料開發(fā)能力，包括單金屬氧化物和多金屬氧化物以及過渡金屬●二硫化物 (TMD) 和其他二維材料。
- 簡單和多金屬氧化物
- 金屬、氮化物和合金
- III-V，寬帶隙半導(dǎo)體
- 二維材料：石墨烯、氮化硼、MoS2、WS2、MoSe2、WSe2 ...
- ETC
詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品應(yīng)用
深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司是中國工業(yè)控制自動化領(lǐng)域的貼心一站式服務(wù)商，專業(yè)從事各種國外中高端工控自動化產(chǎn)品的采購供應(yīng)貿(mào)易與配套服務(wù)，主要經(jīng)營來自歐洲,美國,英語等國知名品牌的高端精密編碼器,傳感器,儀器儀表及各類自動化產(chǎn)品，并與德國,意大利,美國,法國,英國,瑞典,瑞士等國家品牌供應(yīng)商之間建立了高效快捷的供貨渠道，竭力為國內(nèi)客戶提供最優(yōu)惠的價(jià)格，以及優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。我公司主要供應(yīng)產(chǎn)品為：傳感器，編碼器，泵，閥，電機(jī)，高低壓電氣，流體控制，控制元件等一些歐洲國家的中高端產(chǎn)品。以上介紹的就是今天華聯(lián)歐小編為大家準(zhǔn)備的有關(guān)《優(yōu)勢供應(yīng)ANNEALSYS快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MC》等文章內(nèi)容了，如果您今后還有任何的歐洲工業(yè)備品備件產(chǎn)品的需求或疑難備件采購，歡迎來電咨詢，我們會為您提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)。
+86 0755 83233703
電話： 0755-83233703
