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SPORLAN流量控制器GP200系列
瀏覽次數(shù)：664 發(fā)布于：2023-05-08
GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質量流量控制器，專為半導體制造中的先進蝕刻和沉積工藝而設計。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時也能提供準確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復雜性和擁有成本，因為它消除了對壓力調節(jié)器和傳感器等組件的需求。性能特點較低的入口壓力操作
下游閥結構
匹配的瞬態(tài)響應深圳市華聯(lián)歐國際貿易有限公司工業(yè)自動化品牌產品種類眾多，我們可提供從獨立元件到全面集成的定制系統(tǒng)解決方案及工業(yè)備品備件選型服務，每種解決方案都可以為客戶帶來高效的靈活性和附加值。我們是工業(yè)自動化的全球合作伙伴;我們的目標是可持續(xù)發(fā)展。我們的專業(yè)是自動化;我們的使命是創(chuàng)新。我們的激情來自合作伙伴關系!誠信為首、正品采購、價格優(yōu)惠、品質保障、體貼的服務為您提供安全、可靠、完善的售前、售后服務，不斷追求更加卓越的企業(yè)品質，向專業(yè)多元化的產品模式穩(wěn)步前進。下文華聯(lián)歐小編將為您詳細講解有關《優(yōu)勢供應SPORLAN流量控制器GP200系列》等內容，歡迎您繼續(xù)閱讀，祝您生活愉快，謝謝~
GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質量流量控制器，專為半導體制造中的先進蝕刻和沉積工藝而設計。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時也能提供準確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復雜性和擁有成本，因為它消除了對壓力調節(jié)器和傳感器等組件的需求。
性能特點
- 較低的入口壓力操作
- 下游閥結構
- 匹配的瞬態(tài)響應
- 零泄漏控制閥
- 本地顯示指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡地址
- 通過消除匹配和補償兩個獨立壓力傳感器的要求，GP200 差壓技術降低了測量不確定性，從而提高了精度、可重復性和漂移性能。
- 由于 GP200 差壓傳感器專門針對低壓差測量進行了優(yōu)化，現(xiàn)在使用 P-MFC 可以在較低的入口壓力下實現(xiàn)更安全的工廠操作。
- 下游閥門結構確保精度獨立于下游壓力，使流量能夠在高達 1200 Torr 的壓力下輸送?？焖訇P閉閥解決了非生產性配方等待時間或“尾部效應”，這在上游 MFC 閥門設計中可見，需要額外的時間來排出其內部氣體體積。
- 快、高度可重復的上升和下降流動穩(wěn)定時間可在先進的高循環(huán)沉積和蝕刻工藝中實現(xiàn)更嚴格的工藝控制。
- 閥門關閉性能提高 100 倍
- 借助 MultiFlo TM，MFC 滿量程流量范圍通?？梢园?3:1 的比例重新縮小，而不會影響規(guī)格的精度、量程比或泄漏，從而實現(xiàn)工藝和庫存靈活性
- 方便的用戶顯示和獨立的診斷/服務端口有助于設備安裝、監(jiān)控和故障排除
技術參數(shù)
性能：
- 流量范圍（滿量程）：3 sccm - 50,000 sccm
- 準確性：
零泄漏閥：<±1％S.P.（5-100％F.S.）
<±0.05％F。S.（0.5-5％F.S.）
金屬密封閥：<±1％S.P.（5-100％F.S.）
<±0.05％F。S.（2-5％F.S.）
- 可重復性：<±0.15％S.P.
- 響應時間：280±20 ms匹配的瞬態(tài)響應，對于任何上升或下降的非零設定點
- 多氣和范圍可配置性：MultiFlo標準
- 控制范圍：
零泄漏閥：0.5-100％F.S。
金屬密封閥：2-100％F.S。
- 零穩(wěn)定性：<±0.15％F.S每年
- 流動溫度系數(shù)：
零：0.005％F.S 每°C
跨度：0.05％S.P.每°C
機械參數(shù)：
- 密封材料：金屬
- 純度 /表面飾面：5µ inch Ra avg
- 接液材料：316L
Hastelloy C-22
316/316L Stainless Steel
304 Stainless Steel
KM-45
PCTFE
- 閥門選項：通常關閉
- max溫度：60℃
- 壓差范圍：
min：7 psid
max：50 psid
詳細參數(shù)
產品應用
深圳市華聯(lián)歐國際貿易有限公司是中國工業(yè)控制自動化領域的貼心一站式服務商，專業(yè)從事各種國外中高端工控自動化產品的采購供應貿易與配套服務，主要經營來自歐洲,美國,英語等國知名品牌的高端精密編碼器,傳感器,儀器儀表及各類自動化產品，并與德國,意大利,美國,法國,英國,瑞典,瑞士等國家品牌供應商之間建立了高效快捷的供貨渠道，竭力為國內客戶提供最優(yōu)惠的價格，以及優(yōu)質的售后服務。我公司主要供應產品為：傳感器，編碼器，泵，閥，電機，高低壓電氣，流體控制，控制元件等一些歐洲國家的中高端產品。以上介紹的就是今天華聯(lián)歐小編為大家準備的有關《優(yōu)勢供應SPORLAN流量控制器GP200系列》等文章內容了，如果您今后還有任何的歐洲工業(yè)備品備件產品的需求或疑難備件采購，歡迎來電咨詢，我們會為您提供優(yōu)質服務。
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