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本篇文章將為您詳細(xì)介紹美國MKS質(zhì)量流量計IE500A系列產(chǎn)品規(guī)格，描述質(zhì)量流量計的特性及規(guī)格參數(shù)，如果您想了解該產(chǎn)品信息，相信一定會對您有所幫助，如您有該產(chǎn)品需要咨詢，隨時歡迎您來電，我們將會為您提供充分服務(wù)。
1、美國MKS質(zhì)量流量計IE500A系列介紹
MKS高流量熱質(zhì)量流量計在需要防水防塵的惡劣環(huán)境中流量高達1000 slm。IE500A系列高性能多氣體、多量程熱式質(zhì)量流量計專為要求準(zhǔn)確性、可重復(fù)性的最關(guān)鍵過程應(yīng)用而設(shè)計。IE500A質(zhì)量流量計是彈性體密封的多氣體/多量程MFM，設(shè)計用于需要防水和防塵的惡劣環(huán)境。應(yīng)用包括那些可能需要“沖洗”的應(yīng)用，例如存在水分和顆粒的工業(yè)玻璃生產(chǎn)。憑借IP66級外殼，IE500A MFM可滿足這些惡劣環(huán)境的嚴(yán)格要求。IE500A質(zhì)量流量計的量程范圍為250 slm至500 slm（氮氣當(dāng)量）。多氣體/多范圍功能以及嚴(yán)格的精度性能規(guī)格，使用戶能夠最大限度地減少高流量MFM零件號的庫存。
2、美國MKS質(zhì)量流量計IE500A系列產(chǎn)品特性
多氣體/多范圍特征(以及其他自定義控件)是通過MFMs訪問的嵌入式診斷接口，不需要特殊的軟件或硬件來操作。標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器，所有需要的工具都隨處可得。關(guān)鍵的典型高流速氣體的氣體參數(shù)為已經(jīng)存儲在設(shè)備上。配置設(shè)備是只需選擇氣體菜單并指定所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備健康檢查、標(biāo)繪圖流響應(yīng)和存儲運行數(shù)據(jù)以供離線分析。
3、美國MKS質(zhì)量流量計IE500A系列特點
①IP66級外殼可在惡劣環(huán)境中提供防水和防塵保護
②嚴(yán)格控制工藝氣體的流量精度改善工藝匹配
③多氣體/多范圍功能減少了MFM庫存
④嚴(yán)格控制工藝氣體的流量精度，以改善腔室工藝匹配
⑤嵌入式配置和診斷軟件允許用戶檢查MFM功能，而無需從工具中移除設(shè)備
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4、美國MKS質(zhì)量流量計P系列產(chǎn)品規(guī)格
①類型：質(zhì)量流量計(MFM)
②滿量程流量范圍：250-500平方米
③測量范圍：0.2-100%滿量程（機械范圍）
④最大入口壓力：150磅/平方英寸
⑤爆破壓力：1500磅/平方英寸
⑥典型精度：±1%讀數(shù)（使用N2校準(zhǔn)氣體）
⑦重復(fù)性：讀數(shù)的±0.5%
⑧零溫度系數(shù)：小于滿量程的0.05%/°C
⑨跨度溫度系數(shù)：小于讀數(shù)的0.08%/°C
⑩入口壓力系數(shù)：小于讀數(shù)的0.03%/psi
?工作溫度：10-50℃
?模擬I/O連接器：15針D型公頭
?流量輸入輸出信號：電壓(0-5 VDC)；電流(4-20 mA)
?電源要求15-24 VDC（小于4瓦）
5、美國MKS質(zhì)量流量計IE500A系列通訊選項
①數(shù)字輸入/輸出：現(xiàn)場總線®
②所需輸入功率：+15至+24 VDC（小于2瓦）
③連接器：9針D型公頭（電源），9針D型母頭（通訊）
④數(shù)據(jù)速率開關(guān)/選擇：無開關(guān)
⑤通過Profibus：設(shè)置數(shù)據(jù)速率，無開關(guān)
⑥通訊。費率：9.6 Kbps至12 Mbps
⑦MAC ID開關(guān)/地址：2個開關(guān)，10個位置
⑧網(wǎng)絡(luò)規(guī)模：最多99個節(jié)點
⑨視覺指示器：LED通信（綠色/紅色），LED錯誤（綠色/紅色）
⑩遵守：CE
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